CVD管式爐，氣相沉積管式爐
本款CVD管式爐工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。我們的CVD管式爐采用了先進的溫度控制系統，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學，研究中心和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。
高溫真空管式爐特點
- 最高溫度：
1200℃（HRE電阻絲加熱）
1400℃ （硅碳棒加熱）
1600℃ （硅鉬棒加熱） - 智能化51段可編程自動控制
- 雙層風冷結構；爐殼表面溫度低于50℃
- 304不銹鋼雙層密封法蘭
- 兩端可調節法蘭支撐結構，延長爐管使用壽命
- 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電
- 安全保護當爐體漏電時自動斷電
- 升溫速率≦20 ℃ /分
- 控溫精度±1 ℃
- 最大真空度-0.08MPa
- 配置分子泵機組，真空度可達7×10^(-3)Pa
CVD管式爐配套設備
多路氣體控制柜
質量流量計配氣柜
真空管式爐技術規格
Ⅰ.?技術參數 | |
| 最高工作溫度 | 1600℃ (<2小時) |
溫度儀表 | ● 人工智能PID儀表，自動控制溫度。雙向反并聯可控硅調壓，對電爐溫度進行精準控制，并具有限流功能。防止供電電壓不穩，電流突然過大引起跳閘，燒損電氣元件等。 （我公司采用的可控硅為國際優秀品牌：西門康） ● 51段編程曲線，根據預置程序自動升溫、保溫、降溫。一鍵完成，無需工人值守。 ● 內置控溫參數自整定功能。. ● 具有超溫報警，熱電偶斷裂報警，并自動切斷供電電源，提供可靠保護。 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱速率 | 0-20℃/分鐘 |
| 熱電偶 | B型(雙鉑銠) ，熱電偶保護管為純度 99.7%的剛玉管 |
| 加熱元件 | 高純硅鉬棒 |
| 普通真空 | -0.08MPa |
| 高真空 | 7×10^(-3)Pa （分子泵） |
| 配套設配 | 氣體混合控制柜，質子流量計，浮子流量計 |
| 爐膛 | 三層全纖維爐襯，構成整個爐膛 ● 第一層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強度，又確保具有極好的隔熱效果。 ● 第二層: 1430型多晶氧化鋁陶瓷纖維。 ● 第三層: 保溫棉若干。 |
| 爐殼結構 | ● 高強度碳鋼制作而成，酸洗磷化除銹后，靜電噴塑，美觀大方。 ● 雙層風冷爐殼，內置2-4個散熱風機，確保爐殼表面溫度低于60℃. |
| 產品保修 | 1. 自驗收之日起，高溫箱式爐整機免費保修一年。如果設備出現問題，現場進行維修，終身提供技術支持！ 2. 超出保修期后，成本價提供配件。 |
1200℃ CVD管式爐標準尺寸
| 型號 | 爐膛尺寸 （直徑x加熱區長度） | 功率 | 最高 溫度 | 熱電偶 | 爐管 | 加熱 元件 |
| BR-12CNT-40/300 | 40x300mm | 3 KW | 1200℃ | K型 | 石英管 | 電阻絲 |
| BR-12CNT-60/300 | 60x300mm | 3 KW | ||||
| BR-12CNT-80/300 | 80x300mm | 5 KW | ||||
| BR-12CNT-100/300 | 100x300mm | 5 KW | ||||
| BR-12CNT-120/300 | 120x300mm | 6 KW | ||||
| BR-12CNT-40/450 | 40x450mm | 3 KW | ||||
| BR-12CNT-60/450 | 60x450mm | 3 KW | ||||
| BR-12CNT-80/450 | 80x450mm | 5 KW | ||||
| BR-12CNT-100/450 | 100x450mm | 5 KW | ||||
| BR-12CNT-120/450 | 120x450mm | 6 KW |
1400℃ CVD管式爐標準尺寸
| 型號 | 爐膛尺寸 （直徑x加熱區長度） | 功率 | 最高 溫度 | 熱電偶 | 爐管 | 加熱 元件 |
| BR-14CST-40/300 | 40x300mm | 4 KW | 1400℃ | S型 | 氧化鋁管 | 硅碳棒 |
| BR-14CST-60/300 | 60x300mm | 4 KW | ||||
| BR-14CST-80/300 | 80x300mm | 4 KW | ||||
| BR-14CST-100/300 | 100x300mm | 6 KW | ||||
| BR-14CST-120/300 | 120x300mm | 6 KW | ||||
| BR-14CST-40/450 | 40x450mm | 4 KW | ||||
| BR-14CST-60/450 | 60x450mm | 4 KW | ||||
| BR-14CST-80/450 | 80x450mm | 4 KW | ||||
| BR-14CST-100/450 | 100x450mm | 6 KW | ||||
| BR-14CST-120/450 | 120x450mm | 6 KW |
1600℃ CVD管式爐標準尺寸
| 型號 | 爐膛尺寸 （直徑x加熱區長度） | 功率 | 最高 溫度 | 熱電偶 | 爐管 | 加熱 元件 |
| BR-16CMT-40/300 | 40x300mm | 4 KW | 1600℃ | B型 | 氧化鋁管 | 硅鉬棒 |
| BR-16CMT-60/300 | 60x300mm | 4 KW | ||||
| BR-16CMT-80/300 | 80x300mm | 4 KW | ||||
| BR-16CMT-100/300 | 100x300mm | 6 KW | ||||
| BR-16CMT-120/300 | 120x300mm | 6 KW | ||||
| BR-16CMT-40/450 | 40x450mm | 5 KW | ||||
| BR-16CMT-60/450 | 60x450mm | 5 KW | ||||
| BR-16CMT-80/450 | 80x450mm | 5 KW | ||||
| BR-16CMT-100/450 | 100x450mm | 7 KW | ||||
| BR-16CMT-120/450 | 120x450mm | 7 KW |
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